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電子廠廢氣處理的廢氣主要成分了解一下
  • 發(fā)布日期:2020-10-01      瀏覽次數:2007
    •   想要知道電子廠廢氣處理如何進行就要先知道電子廠廢氣主要成分是什么,下面讓我們來了解一下吧。
       
        電子工業(yè)有機廢氣VOCs的排放,對大氣質量、人體健康以及周邊生活環(huán)境的危害都較大,對該類污染物進行有效控制和治理問題也愈發(fā)重要。電子工業(yè)從產品產業(yè)鏈劃分,自上而下分為電子整機產品、電子基礎產品和電子材料三個層次。其中涵蓋:電子材料、半導體器件、電子元件及印制電路板、光電器件和電子終端產品等5個方面。
       
        電子工業(yè)是VOCs排放的主要行業(yè)之一,電子工業(yè)廢氣VOCs排放種類有30多種,組分復雜。電子工業(yè)廢氣VOCS主要來源于對電子產品的表面涂層工藝環(huán)節(jié)所用溶劑型涂料和清洗工藝環(huán)節(jié)所用有機溶劑所致。電子工業(yè)廢氣VOCS常見的種類有:異丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇單甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基異丁基甲酮、二氯甲烷、環(huán)已酮、乙苯、正庚烷、甲氫呋喃、三氯乙烯等。
       
        一般來說,廢氣排放中風量較大,VOCs濃度較低。半導體工藝過程中有機廢氣具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和濃度低(通常小于25ppmv)的特點,電子工業(yè)廢氣VOCs排放中還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有氣體。
       
        揮發(fā)性有機物(VOCs)排放量大、濃度低、成分復雜,常見有機廢氣治理方法如:焚燒、吸附、冷凝、生物膜法、低溫等離子、光催化氧化等,單獨運用或無法達成經濟高效運行,或不能滿足嚴苛的排放標準。
       
        電子廠廢氣處理方法
       
        (1)預處理階段:一般采用噴淋塔先對廢氣進行預處理,去除粉塵以及易溶于水的有害氣體。
       
        (2)主要處理階段:在此階段,比較常見而有效方法有:UV光解,生物過濾分解,焚燒和催化燃燒等。
       
        這幾種方式各有優(yōu)劣,根據大多數電子廠廢氣的情況,在這里我們主要推薦和介紹活性炭濃縮+蓄熱式催化燃燒系統(tǒng)去除VOCs氣體的方案。

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